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吉祥棋牌馆手机版下载王英:光栅需要的光刻机和ASML的光刻机本质上是一致的,但也有区别。ASML的光刻机用在非常高端的领域,工作波长更短,主要是半导体芯片的线路刻写,它的要求比我们高很多,而刻写光栅的需求中低端的光刻机就能满足,技术比较成熟。现在我们掩模版的周期在740nm左右,精度要求比芯片低得多。创鑫激光的光栅刻写机是自主设计光路,自动化平台,定制部件,自主集成的。光刻机用的紫外激光器是外购的。自主设计的好处是光刻机可以方便的兼容各种紫外激光器,因此我们光刻机的紫外激光器供应商并不单一,美国、德国、俄罗斯都有我们的供应商,相对风险也非常低。

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湖南日报

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